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机译:平面外平移式mEms致动器,具有非常大的行程,用于光程长度调制
Thilo Grasshoff; Thomas Schenk; Harald Kenda;
机译:微型傅里叶变换红外光谱仪中用于光程长度调制的平移记忆驱动器
机译:具有大行程和平面外驱动的静电MEMS弹簧驱动器
机译:适用于光学应用的大型面外偏转MEMS执行器
机译:具有超大行程的平面外平移MEMS执行器,用于微型FTIR光谱仪中的光程长度调制
机译:面向大平面外力的MEMS排斥致动器的开发。
机译:用于声换能器的驻极体增强型低压MEMS静电平面外执行器
机译:用于平面外mEms器件的执行器
机译:热MEMS致动器的面外操作方法和热MEMS致动器
机译:热MEMS致动器的平面外操作方法和热MEMS致动器
机译:确定普通光束和非常规光束之间的光路长度差异的方法
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